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日本小坂KOSAKA 輪廓儀 | 輪廓形狀測定機EF651D特點
★ 采用數(shù)字式傳感器、執(zhí)行高精度的輪廓形狀評價。
★ 多種解析功能：方位向量解析、滾珠螺桿解析、非球面解析。
★ 測定資料圖表可自由編組表格。
日本小坂KOSAKA 輪廓儀 | 輪廓形狀測定機EF651D產品參數(shù)
測定范圍：Z:60mm X: 100mm
測定精度：士(0.8+2H/100)um
觸針/測定力：R25um 30mN以下
測定角度：上坡77° 下坡87°
解析：要素解析/方位向量/MASTER比較/ 滾珠螺桿/非球面解析
分解能：Z:0.025um
直線度精度：1.0um/100mm
